ЗНАЧЕНИЕ ТРИБОЛОГИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИЙ ВАКУУМНЫХ КЛАПАНОВ

Abstract

Трибологические испытания играют решающую роль в обеспечении надежности и производительности вакуумных клапанов в различных областях применения, особенно в таких областях, как производство полупроводников, аэрокосмическая промышленность и вакуумные исследования. Трибология материалов, изучающая взаимодействие поверхностей в движении, имеет важное значение для понимания того, как вакуумные клапаны будут вести себя в реальных условиях, где распространены высокий вакуум и механические напряжения. Трение и износ вызываются сложными и множественными наборами микроскопических взаимодействий между поверхностями, которые находятся в механическом контакте и скользят друг по другу. Эти взаимодействия являются результатом материалов, геометрических и топографических характеристик поверхностей и общих условий, при которых поверхности скользят друг по другу, например, нагрузки, температуры, атмосферы, типа контакта и т. д. Все механические, физические, химические и геометрические аспекты контакта поверхностей и окружающей атмосферы влияют на взаимодействие поверхностей и, следовательно, также на трибологические характеристики системы. Таким образом, трение и износ — это не просто параметры материалов, доступные в справочниках; это уникальные характеристики трибологической системы, в которой они измеряются.